中微公司产品篇：5NM以下先进产能实质性突破，MOCVD设备全球第一

9月下旬，览富财经网曾发文《中微公司：硬实力打破美方限制，或为华为提供芯片支持》，文中主要对科创板上市企业中微公司（688012）基本信息、蚀刻设备及百亿募投项目作出简要介绍。

日前，中微公司公告称，其向特定对象发行A股股票申请获得上交所的受理。就企业目前运营状况而言，中微公司等离子体刻蚀设备已经可以应用到5纳米生产线，并正在验证5纳米以下加工能力。

值得注意的是，中微公司另一大业务MOCVD设备在2018年下半年，已经占据了全球新增氮化镓基LED MOCVD设备市场的60%以上，细分领域市场占率全球第一。

着重强调一下，MOCVD设备作为LED制造中最重要的设备，其采购金额一般占LED生产线总投入一半以上，综合行业整体而言，中微公司业绩增量确定性较强。由于前文已经对中微公司基础信息有所介绍，本文不再赘述，将着重对公司半导体设备进行详细介绍。

半导体设备“国货之光”

自从中微公司研发出了与美国领先设备公司同等质量的刻蚀设备并实现量产，一举打破美方的等离子体刻蚀设备多年的出口管制之后，公司产品如今已经成功覆盖了65nm、45nm、32nm、28nm、22nm、14nm、7nm和5nm微观器件刻蚀应用的三代刻蚀设备，并已经成功实现单反应台Primo nanova刻蚀设备的量产，同时在研究双反应台电感性等离子体刻蚀设备。

现阶段，中微公司客户包括国内外主流的晶圆厂和LED制造厂商，随着公司产品性能的持续升级，客户认可度和丰富度不断提升。其生产的刻蚀设备的主要客户包括全球晶圆代工龙头台积电、大陆晶圆代工龙头中芯国际、联华电子、海力士、长江存储等，MOCVD 设备的客户涵盖了我国主要的光电器件生产厂商，如三安光电、华灿光电、璨扬光电等。

在2019年VLSI Rearsch“客户满意度”调查中公司在全球晶圆制造设备供应商中排名第三，连续两年上榜，并被评为全球客户满意度达到五星级的五家公司之一。早在2018年，中微公司的Prismo A7设备就已在全球氮化镓基LED MOCVD市场处于领先地位，全球市占率超过60%，成功超过传统龙头维易科和爱思强。

刻蚀设备市场对标光刻设备市场

目前，公司研发的5nm刻蚀机已经通过台积电的验证，在2020年将投入台积电5nm制程生产线，着重强调一下，从行业层面来看，现阶段晶圆制造向7nm、5nm以及更先进的方向发展。各大晶圆代工厂纷纷加大资本性支出，刻蚀设备作为半导体制造三大核心设备之一，也有望受益于晶圆厂的扩产浪潮。

因为由于普遍使用的浸没式光刻机受到波长的限制，10nm及以下的逻辑器件微观结构的加工将通过等离子体刻蚀和薄膜沉积的多重模板效应来实现，使得相关设备的加工步数增多，直接刺激蚀刻设备销量提升，中微公司也或将因此受益。

根据SEMI 2018年相关统计数据，刻蚀设备在半导体设备市场中份额达到19%，与光刻机、薄膜沉积设备分列前三位，合计份额超过50%。排名第二位的光刻机/光刻胶设备占比约为18%。

即便在2019年半导体设备市场下滑的情形下，刻蚀设备依旧保持着增长的态势，因此随着半导体行情的转暖，刻蚀设备市场有望持续扩大增长态势。

MOCVD设备市占率全球第一

中微公司蚀刻设备突破封锁的同时，另一个主要业务MOCVD设备业务迎来爆发。根据中微公司招股说明书可知，2018年下半年，中微公司的“Prismo A7”MOCVD设备占据了全球新增氮化镓基LED MOCVD设备市场的60%以上，在这一细分领域是当之无愧的全球第一。

现阶段，公司自主研发的MOCVD设备已被三安光电、华灿光电、乾照光电、璨扬光电等多家与公司紧密合作的一流LED外延片及芯片制造厂商大批量采购。

中微公司从2010年开始着手MOCVD设备的研发，于2013年成功推出第一代产品Prismo D-Blue，该产品配备四个19英寸的反应腔，能够同时加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片。

中微公司推出的第二代MOCVD设备“Prismo A7”技术含量和制造工艺水平大幅提升，单腔产量相比第一代产品翻了一番，一经推出使得公司MOCVD设备销量由2016年的3腔飙升至57腔。

今年，中微公司已经推出用于深紫外LED制备的Prismo HiT3TM设备，该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备。

MOCVD设备市场广阔，营收增速迅猛

从营收层面来看，中微公司MOCVD设备2017年销售收入达到5.3亿元，相较于 2016年涨超30倍，2018年由于全球市占率提升，销售收入继续增长，达到8.32 亿元。

根据IHS Market统计，2018年中微彻底打破了维易科和爱思强在MOCVD设备的垄断地位，占全球新增氮化镓基LED MOCVD市场份额高达41%，下半年全球占比更是超过60%，占有量全球第一。

从财务数据来看，曾经的龙头维易科2019年年报披露其营业利润亏损5698.30万美元，根据2019年12月31日汇率计算，大约亏损人民币3.97亿元，中微公司则盈利1.89亿元，同比大增107.51%。

近年来，国内LED产业的快速发展带动了作为产业核心设备的MOCVD设备需求量的快速增长。尤其是2019年新兴的Mini LED和Micro LED是激发MOCVD设备增长的关键因素，根据Market.us预测到2028年，MOCVD市场规模将翻一番，达到16.38亿美元，年均复合增长率约为8.5%。

依据中微公司招股说明书可知，我国2017年已经成为全球MOCVD设备最大的需求市场，MOCVD设备的保有量占全球比例超过40%。2009年至今，我国MOCVD设备保有量增长了高达14倍，已达约2000台。

综上所述，中微公司是我国目前技术实力、研发体系最为强劲的半导体设备企业之一。伴随晶圆代工厂扩产带动蚀刻设备增长，及LED MOCVD设备持续放量，中微公司营收及利润有望持续增长。下一篇，览富财经网将重点关注中微公司财务报表，了解其业绩爆发的深层原因。